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针对纳米技术、微型机械在未来工程应用中对纳米级加工的要求,提出将扫描探针显微镜的技术和原理应用于纳米机械加工过程,实现纳米量级加工的可控性和加工结果的可观察性.给出了采用该方法进行纳米切削加工的试验结果,表明这一方法具有稳定、可靠的微加工性能.观察结果显示了材料去除加工的微观过程,被去除材料在刃前发生剪切变形前,与之约成90o的前刀面方向上切屑已充分变形.