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为了提高砷化镓(GaAs)多结太阳电池的光电转换效率, 设计了宽光谱(300 nm～1 800 nm)ZnS/Al2O3/MgF2三层减反射膜, 分析了各层的厚度及折射率对三层膜系有效反射率的影响。结果表明: 对于整个波长, ZnS厚度对有效反射率的影响要大于Al2O3和MgF2, MgF2厚度对有效反射率的影响最小; 适当减小MgF2的折射率或增加ZnS的折射率可得到更低的有效反射率。同时, 当 ZnS, Al2O3和MgF2的最优物理厚度分别为52.77 nm, 82.61 nm, 125.17 nm时, 此时最小有效反射率为2.31％。