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随着紫外激光加工在半导体、微电子等领域的广泛应用，紫外激光加工质量已受到业界广泛关注。应用“六西格玛”质量分析方法对紫外加工质量缺陷产生原因进行分析，并为提高紫外激光划切质量提出一些方法与措施。
提高紫外激光划切质量的方法与措施
【摘 要】
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随着紫外激光加工在半导体、微电子等领域的广泛应用，紫外激光加工质量已受到业界广泛关注。应用“六西格玛”质量分析方法对紫外加工质量缺陷产生原因进行分析，并为提高紫外激
【机 构】
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中国电子科技集团第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2013年10期
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