氮化铝基板与 Cu和Al的接合及其表面改质效果

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对AIN陶瓷基板进行了减压直流等离子体喷涂镀Al,在基板表面形成厚度约2μm的金属Al薄层,实现了Al与AIN的良好接合.对原基板和镀 Al后的基板进行了氧化处理,并以两块基板的处理面相对.中间夹以纯 Cu片,在 1.3×10-3 pa的真空中 1356 K条件下进行了接合、探讨了基板处理条件对其与金属 Cu的接合性能的影响.结果表明.在 AIN基板上喷涂 Al后、经过1173 K空气中 24 h处理、在基板表面形成了均匀且与基体附着良好的 Al2O3层、可以有效地改善 Cu与 AIN基板的接合性能
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