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本报告的目的是研究:气体主流及气体输配系统中的粒子和粒子源;对粒子源的控制及消除方法;在线实际过滤器的使用;保护必需设置的输配系统,预防污染;作为污染源的过滤器。
电子级气体中的粒子
【摘 要】
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本报告的目的是研究:气体主流及气体输配系统中的粒子和粒子源;对粒子源的控制及消除方法;在线实际过滤器的使用;保护必需设置的输配系统,预防污染;作为污染源的过滤器。
【机 构】
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航天工业部第七设计研究院;
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1987年01期
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