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空间太阳电池阵通常采用玻璃盖片表面蒸镀ITO导电膜并互相连接实现表面的等电位设计。针对等电位设计需求,通过优化盖片表面蒸镀ITO导电膜工艺,在满足电导率的同时将导电膜对透过率的影响控制在2%以内。通过退火处理使得金属电极和ITO导电膜之间的抗拉力大于100 g。太阳电池阵组合中设计了间隙控制、盖片ITO导电膜电极互连并接入航天器结构地。产品研制结果表明该工艺合理可行。