【摘 要】
：
介绍了蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺,讨论分析了影响蓝宝石衬底化学机械抛光的因素,定量确定了最佳CMP工艺。提出先以重抛过程提高蓝宝石抛光速率,然后以轻抛过程降低最终表
论文部分内容阅读
介绍了蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺,讨论分析了影响蓝宝石衬底化学机械抛光的因素,定量确定了最佳CMP工艺。提出先以重抛过程提高蓝宝石抛光速率,然后以轻抛过程降低最终表面粗糙度的工艺路线。在配制抛光液时加入FA/OⅠ型活性剂保护SiO2胶粒的双电子层结构。在轻抛过程之前抛光垫用原液浸泡20～30min,抛光磨料直径为20～40nm。实验最佳工艺条件下的抛光速率达231.6nm/min,粗糙度降至0.34nm。
其他文献
海绵城市,是新一代城市雨洪管理概念,是指城市在适应环境变化和应对雨水带来的自然灾害等方面具有良好的"弹性",也可称之为"水弹性城市"。国际通用术语为"低影响开发雨水系统
红外成像导引头越来越广泛地采用双视场光学系统,但光学系统性能与体积之间的矛盾非常突出。通过分析导引头红外变倍光学系统和一般红外系统的区别,阐明了导引头双视场光学系
纵观世界500强跨国公司的成长经历,它们都有一个非常相似的品牌国际化战略。中国企业在品牌国际化的路上,虽然有很多产品做到了世界第一,但真正被世界接受的品牌还是非常有限
<正>自上世纪90年代至今,中国饮料业经历了碳酸饮料、瓶装水、茶饮料、果汁饮料、功能饮料、植物饮料、蛋白饮料、混搭饮料等八次发展浪潮。饮料行业的竞争和发展,促使越来越
功能性低聚糖具有良好的生理功能,在食品、饲料、医药等行业有着广泛的应用。制备功能性低聚糖的原料主要有淀粉、蔗糖、乳糖等。对功能性低聚糖的制备方法进行了介绍。
本文用姜黄素处理人脑胶质瘤U87细胞,以CCK-8法检测姜黄素对细胞增殖的影响,在光学显微镜下观察姜黄素处理后的细胞形态学变化;酶联免疫法测定NADPH氧化酶的含量;用DCFH-DA荧
通过对DTY结构和性能的影响研究,结合涤纶POY纺丝速度,与DTY之间的关系进行分析。关于降低涤纶和纺丝微观结构,观察其降速前后的涤纶预取向丝的变化,能够分析出POY和DTY在降
针对当然组织参加艺术设计专业学科竞赛过程中出现的问题,结合我院多次组织参赛的经验,对当前艺术设计专业各学科竞赛进行了整理分类,比较研究了三种参加竞赛的模式,并对建立
本文基于Ｍｉｎｄｌｉｎ中厚板理论，给出了域内设有多道同心环向支承时中厚环板弯曲振动分析的一种有效方法。位移函数采用带补充项的幂级数，并以环板内外边界广义位移作为基本未知量。域内环
现代企业管理模式的变革需要顺应时代的发展,传统的管理模式在当今的大数据环境下已经摇摇欲坠,尤其是在市场激烈竞争的前提下,现代企业管理要以数据资源为基础,通过数据分析