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我们改装了日立Ｓ５３０型扫描电子显微镜，使之具有外控电子束偏转功能，通过计算机控制实现电子束曝光。根据电子束制备图形的要求，我们编写了专用软件，实现计算机辅助计算，数据处理与数模转换输出。使用ＰＭＭＡ电子束抗蚀剂，在该系统上获得０．１微米的线分辨率。
用扫描电子显微镜改装的电子束曝光机
【摘 要】
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我们改装了日立Ｓ５３０型扫描电子显微镜，使之具有外控电子束偏转功能，通过计算机控制实现电子束曝光。根据电子束制备图形的要求，我们编写了专用软件，实现计算机辅助计算，数据处理与数模
【机 构】
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北京大学物理学系及国家人工微结构及介观物理重点实验室
【出 处】
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现代科学仪器
【发表日期】
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1995年3期
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