【摘 要】
:
采用射频磁控溅射技术成功制备了BaSn0.94Sb0.06O3薄膜,并研究了退火温度对薄膜微观结构及电学性能的影响。薄膜晶体结构呈现(110)晶面取向。在850℃退火中,BaSn0.94Sb0.06O3薄
【机 构】
:
桂林电子科技大学信息与通信学院,桂林电子科技大学广西省信息材料重点实验室,中南大学粉末冶金学院
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助项目(61561011)
论文部分内容阅读
采用射频磁控溅射技术成功制备了BaSn0.94Sb0.06O3薄膜,并研究了退火温度对薄膜微观结构及电学性能的影响。薄膜晶体结构呈现(110)晶面取向。在850℃退火中,BaSn0.94Sb0.06O3薄膜的表面粗糙度为0.8nm。该薄膜放在电阻炉(730-850℃)中退火,随着退火温度的升高,薄膜电阻率从426.74Ω·cm急剧下降到31.28Ω·cm。在790-850℃退火时,薄膜呈线性负温度系数(LNTC)热敏电阻。对薄膜进行复阻抗图谱研究。结果表明,随着薄膜退火温度的升高,薄膜
其他文献
目的:观察胰岛素泵对糖尿病患者围手术期的治疗效果。方法将68例拟行手术治疗的糖尿病患者随机分为胰岛素泵连续皮下输注(CSII)治疗组和多次皮下注射胰岛素(MSII)治疗组,比较两组患
网络意识形态安全是国家总体安全观的重要组成部分,高校是意识形态工作博弈的主战场。新媒体背景下,高校网络意识形态工作正面临碎片化、娱乐化、开放化、去中心化、圈层化的
基于Euler-Bernoulli梁原理研究了铝基双晶串联压电悬臂梁电压频响和短路-开路共振频移量问题。以悬臂梁总厚度和压电陶瓷厚度为影响参数,首先推导了输出电压的单/多模态解,