感应等离子法制备纳米硅粉工艺初探

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采用感应等离子蒸发冷凝法制备了不同粒径范围的纳米硅粉,并对其物理性能进行研究,重点分析了送料速率与冷却气流对粉末粒度的影响。实验结果表明:在其它工艺参数不变的前提下,纳米硅粉的粒径会随着送料速度的增大而变大,随冷却气流的增大而变小。所制备的纳米硅粉纯净度较高,颗粒形貌呈球形或近球形,且具备较窄的粒度分布。
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