【摘 要】
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介绍了CZ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统的硬件结构和软件设计原理.“,”This paper describes the computer control system for single crystal growing with a constan
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介绍了CZ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统的硬件结构和软件设计原理.“,”This paper describes the computer control system for single crystal growing with a constant diameter in CZ crystal growing furnace, and introduces the design principle of hardware and software.
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