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叙述了在266nm波长点测量紫外探测器和紫外光功率计非线性的原理。提出了利用功率叠加法测量紫外探测器非线性参数的新思路，设计并成功研制了精确测量紫外探测器非线性的装置。利用偏振分光棱镜实现光路的分离与合并，提高了功率非线性测量的动态范围。采用外界杂散光屏蔽技术，减小了背景光和杂散信号对测量结果的影响。编写了自动测量软件，优化了数学模型，降低了测量不确定度。实验结果表明，在1nw～100μw的功率范围内，测量重复性小于0．3％，非线性扩展测量不确定度优于0．8％（k=2）。