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据Semiconductor Reporter网站报道，Olympusntegrated Technologies America近期发布了一款新型300mm圆片光学全顶、边缘、倾角和背端缺陷检测系统。该公司以前的检测系统不含有倾角检测能力，倾角检测将通过连续角度调节实现最佳成像和缺陷探测。
Olympus发布新型圆片检测系统
【摘 要】
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据Semiconductor Reporter网站报道，Olympusntegrated Technologies America近期发布了一款新型300mm圆片光学全顶、边缘、倾角和背端缺陷检测系统。该公司以前的检测系统不含
【出 处】
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现代表面贴装资讯
【发表日期】
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2006年4期
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