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讨论了面对半导体产业的新形势,设备制造商应思考新问题和寻找新产品;并指出半导体设备的新发展趋势,如设备的模块化、软件化和多功能化.
设备制造商应思考的新问题
【摘 要】
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讨论了面对半导体产业的新形势,设备制造商应思考新问题和寻找新产品;并指出半导体设备的新发展趋势,如设备的模块化、软件化和多功能化.
【机 构】
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无锡市罗特电子有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2005年4期
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