一种基于惯性压电马达的扫描隧道显微镜

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dgwyldgwyl
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本文描述了一款结构简单紧凑、可在强磁场和极低温条件下工作的扫描隧道显微镜(scanning tunneling microscope,STM)系统.首先利用环氧树脂胶将4个氮化硅圆球和铍铜弹簧片对称粘接在绝缘导轨上,通过挤压的方式固定位于其中心的滑杆,然后将绝缘导轨粘接固定于压电扫描管的一端.借助于滑杆的惯性,将压电扫描管的4个外电极接地,给压电扫描管的内电极施加一路脉冲电压信号即可实现中心滑杆的步进,控制扫描探针向样品的逼近.逼近完成后,通过向压电扫描管的4个外电极分别施加两路频率不同的推挽电压信号即可实现样品表面的XY扫描,通过压电扫描管的内电极对扫描探针-样品间距进行PID反馈调节控制.通过扫描Au(111)获得的清晰原子图像,验证了本STM系统的高稳定性和高精度.整个STM镜体外径尺寸只有15 mm,长度为25 mm,非常适合在极低温和强磁场等对STM尺寸有限制的极端环境中使用. This paper describes a simple and compact scanning tunneling microscope (STM) system that can operate under strong magnetic field and cryogenic temperature.At first, four silicon nitride balls and beryllium copper spring The sheet is symmetrically bonded on the insulated guide rail, and the slide rod located at the center thereof is fixed by extrusion, and then the insulated guide rail is fixedly bonded to one end of the piezoelectric scan tube. By means of the inertia of the slide rod, Four external electrodes are grounded, and a pulse voltage signal is applied to the internal electrode of the piezoelectric scanning tube to realize the step of the central sliding bar and control the approach of the scanning probe to the sample. After the approach is completed, The external electrodes are respectively applied with two push-pull voltage signals with different frequencies to realize the XY scanning of the sample surface, and the feedback control of the scanning probe-sample spacing through the internal electrodes of the piezoelectric scanning tube is controlled by scanning the Au (111) The obtained clear atomic image verifies the high stability and high precision of this STM system.The entire STM lens body is only 15 mm in outside diameter and 25 mm in length and is very suitable for limiting the size of STM in extremely low temperature and strong magnetic field Extreme environment.
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