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以275#苯基水解料为原料，四甲基氢氧化铵为催化剂，经缩聚平衡得到苯基混合料，再经减压蒸馏收集沸点在280-360℃的馏分制得扩散泵硅油。该扩散泵硅油分别采用全程蒸馏、切割二段馏分、切割五段馏分进行成分分析。扩散泵硅油通过蒸馏切割五段馏分和二段馏分后，其40℃平均运动黏度为59.61mm^2/s、平均折射率1.5779，与扩散泵硅油的指标较接近。所得扩散泵硅油馏分窄，轻馏分和重组分较少，纯度较高，且可帮助真空泵获得较高的极限真空度。