【摘 要】
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随着电编程熔丝（E-fuse）技术在集成电路领域中的应用越来越广泛,对测试验证环节的要求也越来越高,测试人员也面临更大的挑战,因此在电编程熔丝开发过程中,如何提高E-fuse测试验
【机 构】
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中芯国际集成电路制造有限公司产品部
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随着电编程熔丝（E-fuse）技术在集成电路领域中的应用越来越广泛,对测试验证环节的要求也越来越高,测试人员也面临更大的挑战,因此在电编程熔丝开发过程中,如何提高E-fuse测试验证效率是研究的重点和难点之一.基于E-fuse阵列在测试验证上的效率低、样品需求多、数据分析难等问题,对现有的测试验证方法提出了一种E-fuse阵列bits层面上实现编程的测试方案.相比较传统测试流程,该方案可以节省38.8％甚至90％以上的测试验证时间,同时还具有测试设置方便、样品需求少、数据精确度高等特性.
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