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本文总结介绍了近扯为国内外微机械工技术的新发展，并讨论了微机械技术进一步发展的要求和发展趋势。
微机械加工技术发展概况(一)
【摘 要】
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本文总结介绍了近扯为国内外微机械工技术的新发展，并讨论了微机械技术进一步发展的要求和发展趋势。
【机 构】
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复旦大学电子工程系传感技术国家实验室
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1998年5期
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