溅射功率对GdTbFeCo薄膜磁光性能的影响

来源 :华中师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：olddai1

【摘要】

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采用射频磁控溅射法在玻璃基片上成功制得了GdTbFeCo非晶垂直磁化膜，研究了溅射功率对GdTbFeCo薄膜磁光性能的影响．测量结果表明：基片与靶间距为72mm，溅射功率为75w，溅射气压为0．5P

【作者】

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郭继花黄致新崔增丽杨磊邵剑波

【机构】

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华中师范大学物理科学与技术学院

【出处】

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华中师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

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2009年3期

【关键词】

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射频磁控溅射 GdTbFeco 磁光性能溅射功率 RF magnetron sputtering GdTbFeCo magneto-optical pro

【基金项目】

：

基金项目：国家自然科学基金资助项目（60490291）

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采用射频磁控溅射法在玻璃基片上成功制得了GdTbFeCo非晶垂直磁化膜，研究了溅射功率对GdTbFeCo薄膜磁光性能的影响．测量结果表明：基片与靶间距为72mm，溅射功率为75w，溅射气压为0．5Pa，薄膜厚度为120nm时，GdTbFeCo薄膜垂直方向矫顾力达到5966Oe，克尔角为0．413°．

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