【摘 要】
：
采用热丝化学气相沉积(HWCVD)技术,以钨丝作为热丝,在不同热丝温度和氢稀释度下,分别在玻璃和单晶硅片衬底上沉积微晶硅(μc-Si∶H)薄膜材料。对所制备的微晶硅薄膜材料使用X
【基金项目】
：
国家自然科学基金(51262022);内蒙古师范大学“十百千”人才工程项目(RCPY-2-2012-K-041);内蒙古师范大学2012年度研究生科研创新基金(CXJJS12034)
论文部分内容阅读
采用热丝化学气相沉积(HWCVD)技术,以钨丝作为热丝,在不同热丝温度和氢稀释度下,分别在玻璃和单晶硅片衬底上沉积微晶硅(μc-Si∶H)薄膜材料。对所制备的微晶硅薄膜材料使用XRD、傅里叶变换红外吸收光谱、透射谱等进行结构与性能的表征分析。结果表明,随着热丝温度升高,氢稀释度变大,薄膜呈现明显的(220)择优生长取向,晶粒尺寸逐渐增大,光学吸收边出现红移,光学带隙逐渐变小。通过优化沉积参数,在热丝温度为1577℃、氢稀释浓度为95.2%、衬底温度为350℃,沉积速率为0.6 nm/s和沉积气压8 Pa条件下,制备的微晶硅薄膜呈现出了(220)方向的高度择优生长取向,平均晶粒尺寸为146 nm,光学带隙约为1.5 eV,光电导率σp为3.2×10-6Ω-1·cm-1,暗电导率σd为8.6×10-7Ω-1·cm-1,表明制备的材料是优质微晶硅薄膜材料。
其他文献
经济的发展离不开人才,产业的发展更是需要人才集聚作为支撑。机械装备产业是南安市的支柱产业之一,经过多年蓬勃发展,已进入产业转型升级的全新发展阶段。人才是加快推动创
从功能理论的角度出发,借鉴功能理论中的目的论、交际翻译理论、功能对等理论和商务英语的特点,对功能理论对商务英语的指导意义进行分析,探讨了功能翻译理论多维视角下商务
目的:通过对附子与贝母单用及配伍后体内外抗肿瘤实验,验证“半蒌贝蔹芨攻乌”中附子与贝母配伍禁忌理论。方法:生附片与浙贝母单用及配伍对小鼠Lewis肺癌抑瘤实验及流式细胞
<正> 建设工程造价是指完成一个建设项目所需费用的总和,它决定着建设工程的投资效益。工程造价管理是运用科学、技术原理和经济及法律等管理手段,解决工程建设活动中的工程
<正>屈原的《湘夫人》运用了大量的比兴来抒发情感,本文在整首诗歌感情主旨的理解上无争议,都认为是借男女水神的欢爱难期、思而不见的爱情悲剧,表现诗人自己不为楚王所知的
<正> 今年,是罗贯中诞辰675周年。六百余年来,他的贯世杰作—《三国演义》,犹如跨世经代的艺术珍品,光彩照人,脍炙人口。历史演义,是我国古典小说中最富有民族特色的一大种类
沙角Ｂ电厂管理模式的特点○原沙角Ｂ电厂厂长陈留根一、电厂的简要情况１９８５年深圳怖（甲方）与香港合和实业公司（乙方）签订合同，按“兴建──管理──移交”的方式，合作建设和经营沙角Ｂ电厂，规
根据智慧交通监控管理系统进行了一个描述性的分析,重点研究了继监控系统中的主要缺陷和智慧交通监控管理系统的优势,同时对变频监控监控作出了阐述,结合最新的经验和技术的
<正>近日,交通部发布了关于印发《智慧交通让出行更便捷行动方案(2017-2020年)》的通知,旨在推动企业为主体的智慧交通出行信息服务体系建设,促进"互联网+"便捷交通发展。方
目的:通过对升阳益胃汤抗疲劳的实验研究,来评价"消补兼施"法在抗疲劳中的作用,为抗疲劳提供新的研究思路。方法:昆明种雄性小鼠90只(经游泳能力初筛),随机分为三组,分别为空