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由Zernike多项式生成P-V值在5λ(1053 nm)范围之内变化的离焦、像散、彗差和球差等波前畸变, 叠加入用改进Gerchberg-Saxton(G-S)算法设计的背光照明连续相位板(CPP)透射波前, 采用快速傅里叶变换方法计算远场。从能量利用率、焦斑10～100 μm尺度的均匀性和焦斑尺寸三方面分析了波前畸变类型和畸变量大小对三倍频(351 nm)整形焦斑的影响。结果表明, 焦斑的能量利用率和焦斑尺寸对波前畸变有比较大的宽容度, 当波前畸变和CPP本身透射波前P-V相当时, 两者的变化量均在5%之内; 整形焦斑的均匀性对波前畸变比较敏感, 1λ的畸变量使焦斑的均方根(RMS)值从0.325增加到了0.45, 增量达到38.5%, 必须对全系统的波前畸变进行严格控制。