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硅片键合制备SOI衬底
硅片键合制备SOI衬底
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuhui098
【摘 要】
:
硅片键合制备SOI衬底童勤义(东南大学微电子中心,南京210096)一、引言硅片直接键合SDB的研究与开发,从80年代中期以来,在国际上迅速开展起来,它的最主要特点是与硅超大规模集成技术(VLSI)的兼容性及其自
【作 者】
:
童勤义
【机 构】
:
东南大学微电子中心
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
硅片键合
SOI衬底
制备
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硅片键合制备SOI衬底童勤义(东南大学微电子中心,南京210096)一、引言硅片直接键合SDB的研究与开发,从80年代中期以来,在国际上迅速开展起来,它的最主要特点是与硅超大规模集成技术(VLSI)的兼容性及其自身的灵活性。相同的或不相同的,抛光的半...
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