表面高分辨弹性反冲探测分析

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【摘要】

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在中国原子能科学研究院HI-13串列加速器上建立了用Q3D磁谱仪动量分析和△E-E粒子分辨对材料表面进行高分辨的弹性反冲探测分析技术．用100 MeV127I对C/LiF多层样品的深度分布

【作者】

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路秀琴符长波郭继宇赵葵梁刚李淑嫒刘建成姜华

【机构】

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中国原子能科学研究院核物理所，北京 102413

【出处】

：

原子核物理评论

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

弹性反冲探测深度分辨 Q3D谱仪

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在中国原子能科学研究院HI-13串列加速器上建立了用Q3D磁谱仪动量分析和△E-E粒子分辨对材料表面进行高分辨的弹性反冲探测分析技术．用100 MeV127I对C/LiF多层样品的深度分布分析表明，表面分辨达到1.2 nm．所建立的△E(气体)-E(半导体)望远镜探测器可同时分析从轻至中重的所有元素．实测了新光电材料GaN，La2SrCuO4超导膜和新超硬材料C3N4(Si)等样品．

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