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超硬多层薄膜的研究现状及展望
超硬多层薄膜的研究现状及展望
来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dt
【摘 要】
:
由于超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超硬等异常效应.其潜在的实际应用价值及理论意义,使其成为近年来人们研究的热点.本文综述了近年来国内外
【作 者】
:
宋绪丁
李宁
【机 构】
:
长安大学工程机械学院
【出 处】
:
表面技术
【发表日期】
:
2005年3期
【关键词】
:
超硬多层薄膜
超晶格薄膜
纳米多层膜
类金刚石
Super-hard multi-layer thin films Super-lattice films Na
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由于超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超硬等异常效应.其潜在的实际应用价值及理论意义,使其成为近年来人们研究的热点.本文综述了近年来国内外超硬多层薄膜的研究结果,介绍了其分类、主要性能特点以及制备工艺,并对超硬多层薄膜以后的发展趋势进行了展望.
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