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本文介绍一种出口束径为Φ７０ｍｍ的平行束离子源的原理，结构特点及离子源工作性能。当加束电夺为１２００Ｖ，孤流为４Ａ时，净加速度流超过１００ｍＡ，可用于微细加工中离子束清洗和离子束蚀刻。
70mm平行束卡夫曼源的设计
【摘 要】
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本文介绍一种出口束径为Φ７０ｍｍ的平行束离子源的原理，结构特点及离子源工作性能。当加束电夺为１２００Ｖ，孤流为４Ａ时，净加速度流超过１００ｍＡ，可用于微细加工中离子束清洗和离子束蚀刻。
【机 构】
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电子工业部第四十八研究所
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1997年1期
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