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本发明公开了一种大规模用球形的制备方法。对硅溶胶进行喷雾干燥，得到微球形二氧化硅凝胶，热处理后得到高纯球形硅微粉，其球形化、球形度、致密度及表面光滑度等能达到大规模集成电路封装要求。
高纯球形硅微粉生产方法
【摘 要】
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本发明公开了一种大规模用球形的制备方法。对硅溶胶进行喷雾干燥，得到微球形二氧化硅凝胶，热处理后得到高纯球形硅微粉，其球形化、球形度、致密度及表面光滑度等能达到大规模集
【机 构】
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连云港东海硅微粉有限公司
【出 处】
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无机硅化合物（天津）
【发表日期】
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2008年3期
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