检验光学表面和透镜的数字波前测量干涉仪

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摘要用自扫描1024单元光电二极管阵列和小型计算机测量干涉仪干涉图形的相位(波前)测到λ/100。通过压电晶体改变参考臂长,在干涉图形中32×32矩阵排列的光电二极管阵列采样光强。应用这些数据通过傅里叶级数方法小型计算机同步探测每1024个点的相位并把波前的等高图和透视图在少于1分钟内显示在存储示波器上.阵列的光强是以随机形式多次采样并取平均值,使大气抖动,振动和热流效应最小。很重要的是容易测定干涉仪的波前误差并且从当时的或以后的波前处理中自动相减。支持测量系统的各个程序包括确定孔径边界,波前总
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