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对离子束蚀刻深度传感器敏感元件与传感器元件间的耦合问题进行了探讨。表明敏感元件 对蚀刻深度的测量结果有较大的影响。给出了振动误差的抑制措施。
蚀刻深度传感器耦合问题的研究
【摘 要】
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对离子束蚀刻深度传感器敏感元件与传感器元件间的耦合问题进行了探讨。表明敏感元件 对蚀刻深度的测量结果有较大的影响。给出了振动误差的抑制措施。
【机 构】
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华东冶金学院自动化系,浙江大学光科系
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1998年12期
【基金项目】
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国家自然科学基金,安徽省自然科学基金
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