预制体几何形状对化学液气相沉积工艺的影响

来源 :华东理工大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yy4733
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考察了预制体几何形状在高频辅助化学液气相沉积(CLVD)工艺中的作用.相同高度、不同直径的预制体存在一个最佳直径,形成由内向外的致密化模式,由此获得的碳/碳复合材料表观密度最大,开孔隙率最小.相同直径,不同高度的预制体中,随着预制体高度减小,其致密化模式先由中心向两端,而后由内向外,最后由外向内.h=70mm的材料表观密度最高 ,开口孔隙率最小.
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