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基于谐波分离修正算法，采用高速可编程器件，构建了一套激光干涉仪误差修正系统。该系统通过校准过程建立误差修正方程，并生成修正相位表。测量时数据采集及处理单元的可编程器件实现定点型移位相减除法运算，得到数字化的正切值，将正切值作为内存地址，通过硬件查表得到修正相位值，极大提高了误差修正速度。
并分析了定点型移位相减除法精度以及寻址空间大小对系统误差的影响。