【摘 要】
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具有低电阻率的栅极和连接材料的研究巳成为加快大型积成电路(LSI)技术进展的基础。难熔金属如Mo和W的深入研究产生了微型和高速仪器的制造技术。这些具有细颗粒的金属可制
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具有低电阻率的栅极和连接材料的研究巳成为加快大型积成电路(LSI)技术进展的基础。难熔金属如Mo和W的深入研究产生了微型和高速仪器的制造技术。这些具有细颗粒的金属可制造高质量的仪
Research into gates and connecting materials with low resistivity has been the basis for accelerating the development of large integrated circuit (LSI) technology. In-depth studies of refractory metals such as Mo and W have resulted in the fabrication of miniature and high speed instruments. These fine-grained metals make high-quality instruments
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