新型纳米加工技术的研究开发是目前国际上关注的热点，是纳米技术、特别是纳米器件获得应用所必须解决的重要问题之一。纳米器件尺寸小型化、结构多样化、集成高度化的发展趋势要求纳米加工技术不仅具有纳米量级的加工分辨能力，而且也能够实现包括从二维到三维复杂纳米结构的加工与器件制备。本项目围绕光子束超衍射纳米加工技术这一核心，针对光子束超衍射纳米加工的实现途径与机理、光子束超衍射纳米加工的极限分辨率与精度控制问题、功能纳米结构制备原理、特性研究、基于光子束超衍射纳米加工的器件制备工艺创新与应用探索等关键问题，按计划开展了各项研究工作，在光子束超衍射纳米加工原理的基础研究，光子束超衍射纳米加工的工艺创新、关键技术基础研究与平台研制，功能材料纳米结构制备工艺创新与特性的相关基础研究及纳米器件制备工艺创新与应用探索方面取得了创新性研究成果，圆满完成了各项研究任务。