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JK—1型半自动接近式光刻机显微物镜的高精度对心

来源 :光学工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dfl_peng

【摘 要】

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本文介绍了JK—1半自动接近接触式光刻机显微物镜的结构,以及对该显微物镜高精度对心的方法,装置、精度分析和实测结果。实测结果表明,这种对心方法能满足显微物镜的高分辩率

【作 者】

：

姚汉民 王肇勋 

【出 处】

：

光学工程

【发表日期】

：

1981年05期

【关键词】

：

显微物镜 分辩率 物镜框 接近式光刻机 

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本文介绍了JK—1半自动接近接触式光刻机显微物镜的结构,以及对该显微物镜高精度对心的方法,装置、精度分析和实测结果。实测结果表明,这种对心方法能满足显微物镜的高分辩率,象质好的要求,并已达到理论设计水平。此种高精度对心方法同样能适应大数值孔径,高分辨率,更高精度显微物镜的装配和校正。

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