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通过９００ＭｅＶＡｒ离子辐照聚酯（ＰＥＴ）薄膜潜径迹蚀刻过程的研究，给出了表征ＰＥＴ聚合物材料特性的径迹可蚀刻性的能损阈值（ｄＥ／ｄＸ）ｃ并通过不同方法讨论了ＰＥＴ膜的径迹蚀刻速度和体蚀刻速度。
高能Ar离子辐照聚酯薄膜潜径迹蚀刻
【摘 要】
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通过９００ＭｅＶＡｒ离子辐照聚酯（ＰＥＴ）薄膜潜径迹蚀刻过程的研究，给出了表征ＰＥＴ聚合物材料特性的径迹可蚀刻性的能损阈值（ｄＥ／ｄＸ）ｃ并通过不同方法讨论了ＰＥＴ膜的径迹蚀刻速度和体蚀刻速度。
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1998年1期
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