【摘 要】
：
沉积速率高、基材温升低的磁控溅射工艺,已经成为半导体集成电路金属化工艺的主流。本文重点对在硅晶圆上溅射金属薄膜的实际镀膜过程中的淀积速率进行了理论和实验研究。研
论文部分内容阅读
沉积速率高、基材温升低的磁控溅射工艺,已经成为半导体集成电路金属化工艺的主流。本文重点对在硅晶圆上溅射金属薄膜的实际镀膜过程中的淀积速率进行了理论和实验研究。研究表明淀积速率随工作气压的增大先增大后减小;淀积速率随着靶基距增大而减小,但均匀性增强;当入射离子的能量超过溅射阈值时,淀积速率随着溅射功率的增加先增加后下降;同时还研究了靶材料对淀积速率的影响,以及溅射功率、淀积时间对膜厚和膜质量的影响。以上结论对于获得良好的镀膜工艺控制是很有意义的
其他文献
<正>数列是高中数学的重要内容.近年来的高考出现了给出数列的解析式(包括递推关系式和非递推关系式),求通项公式的问题.在高考中本小节是重点,求数列的通项要注意以下两点:1
高校属于非营利性事业单位,高校的资金来源状况决定其发展速度与发展水平。随着高等教育体制改革的深化和近年来高校招生规模的扩大,高校的资金来源状况发生了结构性的变化。
<正> 我们自1976年以来,采用穴位埋线法治疗支气管炎和支气管哮喘,效果比较满意,现总结310例临床疗效观察如下。一般资料 310例中,男195例,女115例。多为农民。年龄:20岁以下
在内科护理教学中引入比较教学法,通过系统与系统之间整体的比较,系统内部不同疾病之间的比较,不同系统疾病之间异同的比较,同一疾病不同类型之间的比较以及分级、分期的比较
<正>"地理学科旨在解释地区特征以及人类和事物在地球上出现、发展和分布情况。它所关注的是人与环境在特定地点和位置的相互作用"。在培养生态意识方面,地理知识中蕴含有丰
<正> 我科从1976年以来,在敏感穴位上埋线治疗慢性胃炎和胃、十二指肠溃疡病,效果较为满意。现就资料较全的388例疗效分析及治疗方法报告如下。
穴位埋线疗法临床应用综述冯兵（云南省砚山县中医院针灸科，６６３１００）主题词埋线疗法穴位埋线疗法是指在消毒条件下将羊肠线埋入有关穴位，经过多种因素的复合性刺激，达到疏通经络气血以治疗
<正>互联网金融创新,将对进一步深化金融机构改革、利率市场化改革等一系列金融改革形成倒逼机制,有利于通过市场的力量,加快推动金融改革余额宝基本情况介绍2013年6月13日,
本文以水电施工企业责任成本管理为例,从责任中心设置、责任成本分解、责任成本控制、责任成本分析、责任成本考核等方面对施工企业责任成本管理进行了研究,并提出了一套较为