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采用大型中频磁控溅射系统制备了全固态薄膜电池用LiCoO2阴极薄膜材料,研究了退火前后其结构及形貌的变化。结果表明,沉积的LiCoO2薄膜具有晶态结构;沉积状态薄膜的晶体取向决定着退火后薄膜的晶体择优取向,退火只是使晶粒更加完整,并使择优取向发展得更好;沉积过程的O2/At(氧分压)对薄膜的晶体取向影响很大,适当控制沉积条件,采用工业规模的中频磁控溅射设备可以制备出取向良好的LiCoO2薄膜阴极材料。