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本文建议以金属有机化学汽相沉积外延技术制造高亮度发光二极管芯片的外延层。为了发展我国发光二极管的技术与产业，由高等院校与工厂联手合作是正确的有效的道路。
发展MOCVD技术制造LED芯片
【摘 要】
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本文建议以金属有机化学汽相沉积外延技术制造高亮度发光二极管芯片的外延层。为了发展我国发光二极管的技术与产业，由高等院校与工厂联手合作是正确的有效的道路。
【机 构】
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华南师范大学量子电子学研究所
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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1995年4期
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