还原氮化法制备氮化铌薄膜及性能研究

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以五氯化铌为原料,采用氨气还原氮化法制备出Nb_4N_5薄膜。利用XRD、SEM、UV-VIS-NIR和RAMAN测试手段研究了薄膜组成、形貌和表面增强拉曼光谱性能。结果表明,薄膜中Nb_4N_5的结晶程度高,物相较纯没有出现其他的杂质,薄膜表面裂纹较少,颗粒粒径40 nm,膜厚210 nm,所合成的Nb_4N_5薄膜吸收光谱中在300~500 nm出现了等离子体共振吸收峰,红外区域反射率高于30%,薄膜方块电阻为552Ω/□,并具有较好的SERS活性。
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