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由于扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）管式扫描器自身结构的不完善，在运动过程中会产生一定的结构误差，交叉耦合误差和非正交误差是其中两项重要的误差。本文对这两项误差进行了定量的理论分析，得到了相应的误差公式及误差曲线，并通过实验验证了理论推导结果的正确性。最后，根据对误差产生原因的研究，文中还提出了一些相应的误差补偿措施。