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ICF（惯性约束聚变）点火用低温冷冻靶①,需要在常温下,把气体高压渗透入直径1mm以内,厚度um数量级的靶球体内,最终压力：100MPa～150MPa,再由制冷系统降温至20K以下,此过程中,靶球的温度场也降温至20K以内。降温及清洗结束后,由送靶机构取出用于分层和物理诊断等。本装置实现冷冻靶的气体渗透充填、冷却降温、分层时的精确控温等过程。