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在不同热解温度下,采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备镧、锰共掺杂铁酸铋铁电薄膜Bi0.9La0.1Fe0.95Mn0.05O3(BLFMO).利用热失重仪(TGA)分析BLFMO原粉的质量损失,用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)分析BLFMO薄膜的晶体结构和表面形貌.在热解温度为420℃时,得到BLMFO薄膜的剩余极化值为21.2 μC/cm2,矫顽场为99 kV/cm,漏电流密度为7.1×10-3 A/cm2,说明薄膜在此热解温度下具有较好的铁电性能.