固支梁微传感器等效电路宏模型及IP库的建立

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lastdemon

【摘要】

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针对MFMS器件中的固支梁结构,采用了SPICF中标准多项式受控源的形式和模态分析的方法,运用F-I类比的电路形式建立了固支梁微传感器的多模态小信号等效电路宏模型,并建立了相

【作者】

：

闻飞纳李伟华戎华

【机构】

：

东南大学微电子中心

【出处】

：

固体电子学研究与进展

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

MEMS 固支梁受控源微传感器等效电路宏模型 IP库 controlled source clamped-clamped beam macromod

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针对MFMS器件中的固支梁结构,采用了SPICF中标准多项式受控源的形式和模态分析的方法,运用F-I类比的电路形式建立了固支梁微传感器的多模态小信号等效电路宏模型,并建立了相应的IP模型库单元.在外加力作用下,用SPICF软件调用固支梁的IP库并结合外加电路进行了系统级的模拟,得到微传感器分布参数的电学参量输出特性曲线;最后采用COVFNTORWAPE软件进行了模型的各个模态的谐振频率和相关曲线的验证.

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