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利用反应磁控溅射法制备W_2N和WSiN涂层,利用XRD,SEM和AFM研究涂层的显微结构,利用纳米压痕仪测试涂层的力学性能,利用摩擦磨损仪表征涂层的摩擦磨损行为。结果表明,原子数分数2.4%Si掺杂没有引起W_2N涂层相结构和力学性能的明显变化,但降低了涂层的表面粗糙度（从10.56 nm到8.35 nm）。不锈钢基底、W_2N涂层、WSiN涂层与Al_2O_3对偶球的摩擦因数分别为0.62、0.42和0.35,对应的磨损率分别为4.2×10~（-14）、3.8×10~（-16）和3