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提出一种基于粒子群算法的三维坐标反演模型,实现了超声波三坐标测量中三维坐标的高精度反演,提高了坐标反演迭代过程的鲁棒性.同时介绍了超声波测距系统的原理,推导了三维坐标反演的目标函数,建立了基于粒子群算法的反演模型,并进行了实验研究.通过软件仿真,对粒子群算法在超声波三维测量上的可行性和鲁棒性进行了验证,并搭建超声波三维定位平台,在1m×1m×2m空间中进行了测量实验.结果表明,测量的绝对误差小于10mm,具有较高的反演精度.