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研究了声表面波器件(SAWD)基片金刚石膜的厚度测量方法.通过光切显微镜和扫描电镜(SEM)测量结果的比较,讨论了测量精度.在沉积制备多层薄膜SAWD基片中金刚石薄膜的实验过程中,选用光切显微镜测量膜厚,测量精度0.5～1.0 μm.
声表面波器件基片金刚石薄膜厚度的测量
【摘 要】
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研究了声表面波器件(SAWD)基片金刚石膜的厚度测量方法.通过光切显微镜和扫描电镜(SEM)测量结果的比较,讨论了测量精度.在沉积制备多层薄膜SAWD基片中金刚石薄膜的实验过程中
【机 构】
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天津理工学院光电信息工程系,天津大学机械工程学院
【出 处】
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光电子·激光
【发表日期】
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2003年8期
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