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<正> 引言 目前,SnO_2半导体气敏器件(以下简称器件),由于成本低,灵敏度高,响应时间快等优点已商品化,大量投放市场,用于对易燃、易爆、有毒、有害气体的监测,预报和控制工程中,因而器件的可靠性水平高低直接关系到国家财产和人民生命的安全。当前,半导体气敏传感器普遍存在可靠性差的缺点,故提高可靠性水平是当务之急,也是出口创汇的基本条件。