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通过对电感耦合等离子体发射光谱仪（ ICP-OES）外部和内部富集的粉尘进行分析，确定粉尘的形态和粒径，从而对ICP-OES的外部和内部系统进行了更新改造，大幅减少了粉尘对仪器运行的影响，降低了ICP-OES的维护频率和日常维护费用，延长了仪器的使用寿命，为其他大型精密仪器设备的防尘工作提供参考。