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期刊论文
ZnO膜制备及性能研究
ZnO膜制备及性能研究
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wsw361
【摘 要】
:
首次用超声喷雾法制备ZnO膜,研究了溶液组成等对成膜速度的影响,探讨了Al离子掺杂等因素对膜电性能的影响关系。
【作 者】
:
殷顺湖
王民权
【机 构】
:
宁波高等专科学校建工系,浙江大学材料系
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
超声喷雾法
铝离子掺杂
氧化锌膜
薄膜
ultrasonic spraying method
ZnO films
Al~(3+) dopant
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首次用超声喷雾法制备ZnO膜,研究了溶液组成等对成膜速度的影响,探讨了Al离子掺杂等因素对膜电性能的影响关系。
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