微机电系统的微波应用

来源 :2000年结构与工艺联合学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:engineer2007
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介绍微机电系统(MEMS)这一新兴技术在微波和毫米波领域的应用,列出几种典型部件.
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