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王者之战:三国杀
【摘 要】
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【出 处】
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科技知识动漫
【发表日期】
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2012年1期
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用中频孪生靶磁控溅射法沉积制备了掺铒、镱铒共掺Al<,2>O<,3>薄膜,探索了氧气氩气分压、不同衬底、镱铒共掺杂、掺杂浓度、后退火温度、退火时间等各工艺参数对薄膜特性的影响.用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析了薄膜样品的表面形貌,用椭圆偏振仪测量了薄膜的厚度和折射率.分析探讨了铒离子在氧化铝薄膜中的发光机理.测量了各种薄膜样品的光致发光特性,包括光致发光的峰值强度与掺铒浓度、镱铒掺杂比率、泵浦功率和退火温度的关系,得出以下结论:(1)所有薄膜的峰值波长为1535nm,半值宽度在40n